您当前所在位置: > 爆料站 > 发号福利

盛美半导体设备拓展了300mm立式炉半导体设备产品组合

时间:2021-03-27 20:58:57  来源:  作者:网络转载

  作为半导体制造与先进晶圆级封装领域中领先的设备供应商,盛美半导体设备近日宣布,为其不断发展的300mm Ultra Fn立式炉干法工艺设备产品系列,增加了以下半导体制造工艺:非掺杂的多晶硅沉积、掺杂的多晶硅沉积、栅极氧化物沉积、高温氧化和高温退火。盛美将于3月17日至19日在上海新国际博览中心举行的SEMICON China 2021的3659号展位上展示这些技术。

  盛美先前已发布了应用于氧化物、氮化硅(SiN)低压化学气相沉积(LPCVD)和合金退火工艺功能的立式炉系统,基于该可配置的立式炉平台,盛美开发了上述新功能。支持这些新应用的立式炉设备现已交付或预计陆续于2021年上半年内交付到客户端。

  “我们的战略始终是找到半导体制造行业中具有高增长潜力的市场和应用,并且与我们的客户合作,开发出先进技术来解决这些问题。”盛美半导体设备董事长王晖表示:“现在,我们能够进行80%以上的批式热工艺,包括用于SiN,HTO的LPCVD工艺,非掺杂多晶硅和掺杂多晶硅沉积,栅极氧化物沉积工艺,高达1200摄氏度的超高温氧化和退火工艺。这一新产品线的迅速导入,也进一步证明了我们与核心客户合作战略的成功。"

  随着半导体器件体积的不断缩小和复杂度的增加,Ultra Fn系统的设计始终是为了寻求满足客户需求的最佳解决方案。当今的器件设计的高复杂度、微小几何尺寸,对热工艺的温度控制的均一性与稳定性提出了高要求,这对晶圆良率至关重要。为了满足这些要求,Ultra Fn加热器开发了独有的控制算法,使该平台具有稳定的温度控制性能。

  盛美对其可灵活配置的Ultra Fn设备进行了功能扩展,仅对部分模块和布局进行了一些更改即可适用于这些新工艺应用。该可配置的系统设计,与盛美现有的氧化物、氮化物沉积系统大部分硬件可通用,从而降低了总成本。该系统可便捷地更换组件,以实现不同客户的定制化工艺需求。

  盛美的第一台SiN LPCVD已于2020年初交付给一家重要的逻辑制造客户,并在该工厂进行了大规模量产验证。同时,另一台微托级超高真空功能的合金退火工艺立式炉设备已于2020年底交付给一家功率器件制造客户,并已完成生产能力的验证。而此次发布的其他新功能的设备也陆续开始在客户端进行测试,预计在2021年内取得验证结果。

  【来源:Techweb】【作者:新喀鸦】

资源转载网络,如有侵权联系删除。
相关下载

玩家评论

国投创业领投电子级多晶硅领先企业鑫华半导体

  据国投高新官网消息称,国投创业完成了对电子级多晶硅龙头企业江苏鑫华半导体材料科技有限公司(简称“鑫华半导体”)的领投,支持企业扩大技术研发和市场拓展。 详情>>

阅读: 2
日期: 2021-03-10
OPPO关联企业入股电源芯片厂商威兆半导体

  企查查 App 显示,3 月 5 日,深圳市威兆半导体有限公司(简称威兆半导体)发生工商变更,新增股东 OPPO 广东移动通信有限公司、苏州汾湖勤合创业投资中心 (有限合伙)。   详情>>

阅读: 2
日期: 2021-03-08
艾迈斯半导体发布3DdToF解决方案

  近日,世界移动通信大会在上海举办。在展会上,传感器解决方案供应商艾迈斯半导体和计算机视觉成像软件厂商ArcSoft,共同展示了一款3D直接飞行时间(dToF)传感器解决方案,这套详情>>

阅读: 1
日期: 2021-03-02
苹果芯片供应商Dialog半导体正与瑞萨电子洽谈出售

  据国外媒体报道,去年全球半导体领域宣布了多笔大规模的收购交易计划,规模最大的是英伟达 400 亿美元从软银手中收购 Arm,AMD 收购赛灵思的规模也高达 350 亿美元,另有 SK 详情>>

阅读: 2
日期: 2021-02-17
预计全球半导体厂商今年研发支出增至714亿美元

  据国外媒体报道,研究机构预计,在去年创下新高之后,全球半导体厂商今年的研发支出,将再次创下新高,并且会超过700亿美元。   从研究机构的预计来看,今年全球半导体厂商的研详情>>

阅读: 5
日期: 2021-01-22
高通宣布计划以14亿美元收购半导体初创公司Nuvia

  据国外媒体报道,芯片制造商高通宣布,计划以14亿美元收购半导体初创公司Nuvia,以帮助其为智能手机和笔记本电脑设计定制处理器。   Nuvia是由三位前苹果半导体高管于201详情>>

阅读: 3
日期: 2021-01-14
为更好整合资源,比亚迪拟分拆半导体业务上市

  12 月 30 日消息 比亚迪今日晚间公告称,为了更好地整合资源,做大做强半导体业务,公司于 2020 年 12 月 30 日召开第七届董事会第四次会议,审议通过了《关于拟筹划控股子公详情>>

阅读: 2
日期: 2020-12-31
国内最大的车规级IGBT厂商!比亚迪半导体分拆上市

  据媒体报道,近日,比亚迪发布投资者调研公告,回答了中信证券等调研者关于IGBT、比亚迪半导体等相关的问题。  IGBT业务市场化进展备受市场关注,比亚迪透露, 比亚迪半导体详情>>

阅读: 5
日期: 2020-12-25
研究机构:全球半导体厂商今年资本支出1081亿美元

  据国外媒体报道,研究机构预计,2019 年同比下滑之后,全球半导体厂商今年的资本支出将恢复增长,台积电等芯片代工商所占的比例将超过三分之一。   从研究机构的预计来看,今详情>>

阅读: 5
日期: 2020-12-12
格力申请半导体空调专利:冷凝水规则流下

  企查查 APP 显示,近日,格力电器(000651)新增一条 “半导体空调”专利信息。企查查信息显示,该专利申请公布日为 2020 月 12 月 4 日。   专利摘要显示,本申请提详情>>

阅读: 2
日期: 2020-12-07
新唐科技表示完成收购松下半导体相关业务

  新唐科技(Nuvoton)表示,已完成收购松下半导体相关业务。   新唐科技以现金完成并购松下集团旗下之半导体事业 Panasonic Semiconductor Solutions., Co. Ltd. (&ldqu详情>>

阅读: 8
日期: 2020-09-02
新唐科技表示:已完成收购松下半导体相关业务

  新唐科技(Nuvoton)今日表示,已完成收购松下半导体相关业务。   新唐科技以现金完成并购松下集团旗下之半导体事业Panasonic Semiconductor Solutions., Co. Ltd. (&ld详情>>

阅读: 6
日期: 2020-09-01
半导体公司SiFive获6100万美元融资由SK海力士领投

  据国外媒体报道,半导体公司SiFive宣布获得6100万美元的E轮融资。   此轮融资由SK海力士领投,新投资者Prosperity7 Ventures和现有投资者Sutter Hill Ventures、西部数详情>>

阅读: 9
日期: 2020-08-13
日月光半导体封测及材料业务二季度营收23.65亿美元

  据国外媒体报道,为苹果等公司提供芯片封测服务的日月光,已发布了二季度的财报,其中半导体封测及材料业务的营收同比明显增加,达到了23.65亿美元。   财报显示,日月光二季详情>>

阅读: 11
日期: 2020-08-04
Altair半导体正式更名为索尼半导体以色列分公司

  据报道,Altair 半导体当地时间周三宣布更名为索尼半导体以色列分公司(Sony Semiconductor Israel),但其物联网(IoT)产品线仍将继续使用 Altair 品牌标志。  这家以色列半详情>>

阅读: 17
日期: 2020-07-23
国产半导体第一股中芯国际登陆A股暴涨200%+

  万众期待的“国产半导体第一股”中芯国际今日正式登陆A股科创板,股票代码为“688981”。和所有人预想的一样,开盘直接起飞。   中芯国际总股本详情>>

阅读: 5
日期: 2020-07-17
亚德诺半导体正在洽谈以超过170亿美元收购Maxim

  据知情人士透露, 半导体制造商亚德诺半导体公司(Analog Devices Inc.)正在洽谈以大约200亿美元收购竞争对手Maxim Integrated Products Inc. ,这将是今年最大的并购交易之详情>>

阅读: 8
日期: 2020-07-13
研究机构预测全球半导体市场2020年仅增长3.3%

  6月10日消息,据国外媒体报道,代表全球主要厂商的世界半导体贸易统计组织(WSTS)日前表示,2020年的全球半导体市场规模将比上年增长3.3%,达到4259亿美元。   外媒称,去年12月详情>>

阅读: 3
日期: 2020-06-10
研究机构:全球半导体市场二季度营收可能环比下滑5%

  6月10日消息,据国外媒体报道,研究机构预计,全球半导体市场二季度的营收,环比可能会下滑5%。     从外媒的报道来看,研究机构是根据21家上榜的半导体厂商对二季度业绩的详情>>

阅读: 17
日期: 2020-06-10
走进粤芯半导体了解小芯片背后的大产业

原标题:走进粤芯半导体 了解小芯片背后的大产业 记者带你走进粤芯半导体 了解小芯片背后的大产业 粤芯半导体园区航拍图 12英寸晶圆 集成电路,又详情>>

阅读: 14
日期: 2020-06-02
抢占MicroLED市场康佳积极半导体产业布局

原标题:抢占Micro LED市场 康佳积极半导体产业布局 随着“5G+8K”时代的到来,超高清显示产业有望发展成为一个新的蓝海市场,并且带动终端呈现设备、详情>>

阅读: 8
日期: 2020-05-29
“中国芯”打破国际垄断!比亚迪半导体引入19亿

  比亚迪发布的《关于控股子公司引入战略投资者的公告》显示,比亚迪全资控股子公司比亚迪半导体有限公司以增资扩股的方式成功引入战略投资者。  据悉, 比亚迪半导体此详情>>

阅读: 7
日期: 2020-05-28
电子半导体清洗效果如何评价

原标题:电子半导体清洗效果如何评价 目前5G通讯和新能源汽车正进行得如火如荼,而功率器件及半导体芯片正是其核心元器件。为了确保功率器件和半导体详情>>

阅读: 18
日期: 2020-05-22
芯片半导体板块整体回落收阴机构:将加快国产替代进程

原标题:芯片半导体板块整体回落收阴 机构:将加快国产替代进程 中新经纬客户端5月18日电 (高晓锳)5月18日早盘,国产芯片板块和半导体板块集体冲高,分别详情>>

阅读: 8
日期: 2020-05-18
半导体成为公司核心业务耐威科技更名

原标题:半导体成为公司核心业务 耐威科技更名 近日,耐威科技发布公告称,公司4月27日召开的临时股东大会审议通过了《关于拟变更公司全称、证券简称、详情>>

阅读: 15
日期: 2020-05-18
美国对国内半导体代工厂启动半导体"无限追溯"机制

(原标题:美国对国内半导体代工厂启动半导体“无限追溯”机制) 详情>>

阅读: 16
日期: 2020-05-13
SA:2019年汽车半导体厂商总收益同比下降1.3%

Strategy Analytics动力总成、车身、安全和底盘服务(PBCS)最新发布的研究报告《2019年汽车半导体厂商市场份额》指出,2019年汽车半导体厂商总收益同比下降了1.3%,至372亿美元,恩详情>>

阅读: 14
日期: 2020-05-12
中芯国际强势回归A股上市半导体一日增值1000亿

昨晚中国最大的晶圆代工厂中芯国际宣布申请科创板上市 ,将发行 16.86 亿股份,募集资金 40% 将投入上海国产 14nm 工艺的生产项目。中芯国际 SN1 项目就是之前耗资 详情>>

阅读: 9
日期: 2020-05-08
派瑞股份:国内电力半导体行业领军企业

原标题:派瑞股份:国内电力半导体行业领军企业 未来,派瑞股份将紧抓我国产业升级机遇,坚持“创新驱动、质量为先、绿色发展、结构优化、人才为本”的核详情>>

阅读: 11
日期: 2020-05-07
ARM宣布向初创企业免费开放半导体设计知识产权

4月30日消息,据国外媒体报道,芯片设计公司Arm日前宣布,向初创企业免费开放半导体设计知识产权。 ARM该免费项目名称为“Arm Flexible Access for Startup”,累计融详情>>

阅读: 8
日期: 2020-04-30
比亚迪半导体拟引入战投未来将寻求独立上市

4月15日消息,比亚迪股份有限公司(以下简称“公司”或 “比亚迪”)发布公告称,近期通过下属子公司间的股权转让、业务划转完成了对全资子公司深圳比亚迪微详情>>

阅读: 9
日期: 2020-04-15
比亚迪剥离半导体业务引入战略投资加快市场化

原标题:比亚迪剥离半导体业务 引入战略投资加快市场化 4月14日晚, 比亚迪股份有限公司发布公告,宣布其全资子公司深圳比亚迪微电子有限公司重组完成详情>>

阅读: 6
日期: 2020-04-15
光大证券:苹果、TWS、半导体、光通信业绩靓丽

原标题:光大证券:苹果、TWS、半导体、光通信业绩靓丽 光大证券指出,截止2020年4月11日,电子通信行业分别116家电子公司和59家通信公司披露20Q1业绩预详情>>

阅读: 11
日期: 2020-04-13
中国农垦基金考察协鑫集团,探索半导体综合能源应用合作模式

原标题:中国农垦基金考察协鑫集团,探索半导体综合能源应用合作模式 原标题:中国农垦基金考察协鑫集团,探索半导体综合能源应用合作模式与发展前景 4详情>>

阅读: 25
日期: 2020-04-10
[路演]菲利华:致力于半导体石英材料的国产替代

原标题:[路演]菲利华:致力于半导体石英材料的国产替代 全景网4月9日讯 菲利华(300395)2019年年度报告网上说明会周四下午在全景网举办。公司董事、董详情>>

阅读: 11
日期: 2020-04-09
燕麦科技过会科创板世界半导体投资巨头华登国际将迎第110家成员上市

原标题:燕麦科技过会科创板 世界半导体投资巨头华登国际将迎第110家成员上市 4月2日,上交所官网显示,作为柔性印制线路板(FlexiblePrinted Circuit,简详情>>

阅读: 18
日期: 2020-04-02
万联证券:预计半导体、元件、光学等产业均将受益

原标题:万联证券:预计半导体、元件、光学等产业均将受益 万联证券指出,上周电子指数下跌6.11%,跑输沪深300指数7.67个百分点,子行业中其他电子II(申万)和详情>>

阅读: 14
日期: 2020-03-30
美国半导体行业协会呼吁在COVID-19疫情期间保持半导体行业正常运转

原标题:美国半导体行业协会呼吁在COVID-19疫情期间保持半导体行业正常运转 据美国半导体行业协会网站2020年3月25日报道,美国半导体行业协会(SIA)3月2详情>>

阅读: 14
日期: 2020-03-30
华虹半导体年2019年营收9.33亿美元今年12英寸扩产提速

原标题:华虹半导体年2019年营收9.33亿美元 今年12英寸扩产提速 3月26日,晶圆代工厂商华虹半导体发布其2019年业绩报告。华虹半导体表示,2019年华虹无详情>>

阅读: 0
日期: 2020-03-27
反垄断局解除半导体封测龙头日月光与矽品并购限制条件

原标题:反垄断局解除半导体封测龙头日月光与矽品并购限制条件 3月25日晚间,全球半导体封测龙头日月光投资控股股份有限公司称,公司接获中国大陆国家详情>>

阅读: 16
日期: 2020-03-26
精彩推荐