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Intel四年前抢购下一代EUV光刻机:新工艺不落后

时间:2022-01-20 15:18:29  来源:  作者:网络转载

        昨天全球最大的光刻机供应商 ASML 发布了 2021 Q4 及全年财报,去年营收 186.11 亿欧元,较上一财年增长 33% ,净利润也从 35.54 亿欧元涨至 58.83 亿欧元,全年出货 42 EUV 光刻机,比上一年增加 11 套。

        Q4 季度中, ASML 公司还新增了 71 亿欧元的新订单, 其中就有一套 NA 0.55 高数值孔径 EUV 光刻机的销售 ,这是 ASML 下一代光刻机,订购这个光刻机的是 Intel ,据说成本高达 3 亿美元,约合 19 亿元。

         要知道,在当前的 EUV 光刻机销售中,台积电及三星都是大客户,订单量远高于 Intel 但在下一代 EUV 光刻机中 Intel 拿到了独占权,有一定的抢先期,早在 2018 年就下第一台。

        在当前 NA 0.33 EUV 光刻机中, Intel 动作慢了,被台积电、三星抢先, Intel EUV 工艺芯片量产要到 2023 年的 14 代酷睿 Metor Lake 上。

         在下一代 NA 0.55 EUV 光刻工艺中, Intel 不允许同样的错误再次发生,这一次要抢先三星台积电下单,也会抢先量产 20A 18A 工艺,首次进入埃米级工艺节点。

        基于此, 4 年来 Intel 实际上已经下单了 6 NA 0.55 EUV 光刻机, 其中分为两种, Twinscan Exe:5000 系列主要用于工艺研发,产能输出是 185WPH ,每小时生产 185 片晶圆, 2023 年上半年交付。量产型的 NA 0.55 光刻机是 Twinscan Exe:5200 ,产能提升到 200WPH ,每小时 200 片晶圆,预计会在 2024 年下线, Intel 20A 工艺正好是在 2024 年量产。

  【来源:快科技】【作者:宪瑞】

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